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射频容性耦合等离子体放电中电非对称效应机理的研究（关于射频容性耦合等离子体放电中电非对称效应机理的研究简介）
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1、 《射频容性耦合等离子体放电中电非对称效应机理的研究》是依托大连理工大学,由张钰如担任醒目负责人的青年科学基金项目。
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