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微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积（关于微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积介绍）
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1、 微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积。
2、一级应用学科：材料科学技术。
3、二级应用学科：材料科学技术基础。
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