多晶硅生产工艺流程图（多晶硅生产工艺）

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1、多晶硅生产工艺流程是石英砂在电弧炉中冶炼提纯到98%并生成工业硅，其化学反应SiO2+C→Si+CO2↑为了满足高纯度的需要，必须进一步提纯。

2、把工业硅粉碎并用无水氯化氢(HCl)与之反应在一个流化床反应器中，生成拟溶解的三氯氢硅(SiHCl3)。

3、净化后的三氯氢硅采用高温还原工艺，以高纯的SiHCl3在H2气氛中还原沉积而生成多晶硅。

4、反应分析化学反应SiHCl3+H2→Si+HCl。

5、多晶硅的反应容器为密封的，用电加热硅池硅棒（直径5-10毫米，长度1.5-2米，数量80根），在1050-1100度在棒上生长多晶硅，直径可达到150-200毫米。

6、这样大约三分之一的三氯氢硅发生反应，并生成多晶硅。

7、剩余部分同Н2,НС1,SiНС13,SiC14从反应容器中分离。

8、这些混合物进行低温分离，或再利用，或返回到整个反应中。

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