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三氟化氮化学式(三氟化氮)

导读 大家好,我是小夏,我来为大家解答以上问题。三氟化氮化学式,三氟化氮很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!1、三氟化氮在常温下是一...

大家好,我是小夏,我来为大家解答以上问题。三氟化氮化学式,三氟化氮很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!

1、三氟化氮在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体,是一种强氧化剂。

2、三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体,在离子蚀刻时裂解为活性氟离子,这些氟离子对硅和钨化合物,高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅),它在蚀刻时,在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗剂,同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。

本文到此讲解完毕了,希望对大家有帮助。