超大规模集成电路先进光刻理论与应用（超大规模集成电路）

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1、集成电路（integrated

2、circuit）是一种微型电子器件或部件。采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、二极管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构；其中所有元件在结构上已组成一个整体，使电子元件向着微小型化、低功耗和高可靠性方面迈进了一大步。它在电路中用字母“IC”表示。集成电路发明者为杰克·基尔比（基于硅的集成电路）和罗伯特·诺伊思（基于锗的集成电路）。当今半导体工业大多数应用的是基于硅的集成电路。

3、超大规模集成电路：VLSI (Very

4、Large Scale Integration) 通常指含逻辑门数大于10000 门(或含元件数大于100000个)。指几毫米见方的硅片上集成上万至百万晶体管、线宽在1微米以下的集成电路。

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